| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230066204 |
| HGF-Programm | 43.01.01 (POF I, LK 01) Lithographie |
| Erscheinungsvermerk | 10th Internat.Conf.on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS), Tokyo, J, November 14-15, 2006 |