Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230066204 |
HGF-Programm | 43.01.01 (POF I, LK 01) Lithographie |
Erscheinungsvermerk | 10th Internat.Conf.on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS), Tokyo, J, November 14-15, 2006 |