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Raman spectroscopy of W-doped DLC films: influence of W content and substrate bias

Cavaleiro, A.; Stüber, M.; Rinke, M.; Branco, J.R.T.; Moura e Silva, C.W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230066267
HGF-Programm 43.03.03 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 10th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering (PSE 2006), Garmisch- Partenkirchen, September 11-15, 2006
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