Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230066780 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
Erscheinungsvermerk | Internat.Conf.on Technological Advances of Thin Films and Surface Coatings (Thin Films 2006), Singapore, SGP, December 11-15, 2006 |