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PVD-Schichtentwicklung und Strukturierung von Schichten unter Reinraum-Laborbedingungen

Seemann, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230066801
HGF-Programm 43.02.03; LK 01
Erscheinungsvermerk FIF-Workshop für Mitglieder, Karlsruhe, 26.-27.Oktober 2006
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