PVD-Schichtentwicklung und Strukturierung von Schichten unter Reinraum-Laborbedingungen
Seemann, K.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230066801 |
| HGF-Programm | 43.02.03 (POF I, LK 01) Kontaktierung und Transport |
| Erscheinungsvermerk | FIF-Workshop für Mitglieder, Karlsruhe, 26.-27.Oktober 2006 |