Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230066802 |
HGF-Programm | 43.02.03 (POF I, LK 01) Kontaktierung und Transport |
Erscheinungsvermerk | MICROSYS 2006 : 3.Kongress-Fachmesse zur Mikrosystemtechnik und Ultrapräzisionsfertigung, Sinsheim, 9.-12.Mai 2006 |