| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230066802 |
| HGF-Programm | 43.02.03 (POF I, LK 01) Kontaktierung und Transport |
| Erscheinungsvermerk | MICROSYS 2006 : 3.Kongress-Fachmesse zur Mikrosystemtechnik und Ultrapräzisionsfertigung, Sinsheim, 9.-12.Mai 2006 |