Synchrotron-radiation computed laminography for high-resolution three-dimensional imaging of flat devices

Helfen, L.; Myagotin, A.; Rack, A.; Pernot, P.; Mikulik, P.; DiMichiel, M.; Baumbach, T.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2006
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230066972
HGF-Programm	55.51.21 (POF I, LK 02) SpecialFeatures im ANKA-Labor Röntgent.
Erscheinungsvermerk	8th Bienneal Conf.on High Resolution X-Ray Diffraction and Imaging (XTOP 2006), Baden-Baden, September 19-22, 2006 Book of Abstracts