Manufacturing of microstructures with high aspect ratio by microchipping
Gietzelt, T.
; Eichhorn, L.; Schubert, K.
; Eichhorn, L.; Schubert, K.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230067246 |
| HGF-Programm | 43.01.02 (POF I, LK 01) Strukturierung |
| Erscheinungsvermerk | 7th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), Besancon, F, June 7-9, 2007 |