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Manufacturing of microstructures with high aspect ratio by microchipping

Gietzelt, T.; Eichhorn, L.; Schubert, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230067246
HGF-Programm 43.01.02 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 7th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), Besancon, F, June 7-9, 2007
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