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Contamination monitoring of inert process gases with a gradient gas sensor microarray

Goschnick, J.; Schneider, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230067339
HGF-Programm 31.40.06 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 58th Pittsburgh Conf.on Analytical Chemistry and Applied Spectroscopy (PITTCON 2007), Chicago, Ill., February 25 - March 2, 2007
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