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Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis durch Mikrozerspanung

Gietzelt, T.; Eichhorn, L.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230067858
HGF-Programm 43.01.02 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop, Karlsruhe, 7.-8.Mai 2007
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