Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis durch Mikrozerspanung

; Eichhorn, L.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2007
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230067858
HGF-Programm	43.01.02 (POF I, LK 01) Strukturierung
Erscheinungsvermerk	Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop, Karlsruhe, 7.-8.Mai 2007