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Präparation dünner Filme durch Kathodenzerstäubung: Methode, Probleme und Spezialentwicklungen

Geerk, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Festkörperphysik (IFP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230068254
HGF-Programm 52.01.01 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Universität Frankfurt, 4.Juni 2007
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