Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2007 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230068771 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
Erscheinungsvermerk | FSRM Training in Microsystems, Neuchatel, CH, April 23-24, 2007 |