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Polymer microfabrication

Hanemann, T.; Heckele, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230068771
HGF-Programm 43.01.03 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk FSRM Training in Microsystems, Neuchatel, CH, April 23-24, 2007
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