Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2007 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230068772 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
Erscheinungsvermerk | Highlights in Microtechnology : Summer School, Neuchatel, CH, July 2-13, 2007 |