| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230068772 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | Highlights in Microtechnology : Summer School, Neuchatel, CH, July 2-13, 2007 |