Photonic integrated circuits fabricated by deep UV and hot embossing

Bründel, M.; Ichihashi, Y.; Mohr, J.; Punke, M.; Rabus, D. G.; Worgull, M.; Saile, V.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2007
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230068821
HGF-Programm	43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erscheinungsvermerk	IEEE/LEOS Summer Topicals 2007, Portland, Or., July 23-25, 2007