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Commercialization of LIGA - FZK view

Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230069059
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 12th Internat.COMS Conf., Melbourne, AUS, September 2-6, 2007
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