Surface analytical characterization of UV-lithography induced modifications of polystyrene thin films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) Institut für Technische Chemie - Bereich Wasser- und Geotechnologie (ITC-WGT) (ITC-WGT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230069103 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erscheinungsvermerk | 12th European Conf.on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA'07), Bruxelles, B, September 9-14, 2007 |