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Surface analytical characterization of UV-lithography induced modifications of polystyrene thin films

Trouillet, V.; Montero Pancera, S.; Gliemann, H.; Bruns, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Chemie - Bereich Wasser- und Geotechnologie (ITC-WGT) (ITC-WGT)
Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230069103
HGF-Programm 43.03.06; LK 01
Erscheinungsvermerk 12th European Conf.on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA'07), Bruxelles, B, September 9-14, 2007
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