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IMT at FZK (KIT) - R&D into microstructure manufacturing and characterization of microstructures

Bacher, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230069112
HGF-Programm 43.01.03 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Tohoku University, Sendai, J, 31.Juli 2007 Vortr.: Hyogo University, Himeji, J, 2.August 2007
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