| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230070183 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | Surfacts : Internat.Fachmesse für Oberflächentechnik, Karlsruhe, 9.-11.Oktober 2007 |