Synchrotron imaging and defect recognition - applications in microelectronics and in micro-system technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Synchrotronstrahlung (ISS) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230070310 |
| HGF-Programm | 43.01.05 (POF I, LK 01) Charakterisierung u.Zuverlässigkeit |
| Erscheinungsvermerk | 12th Internat.Conf.on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (DRIP XII), Berlin, September 9-13, 2007 |