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Synchrotron imaging and defect recognition - applications in microelectronics and in micro-system technology

Baumbach, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230070310
HGF-Programm 43.01.05 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 12th Internat.Conf.on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (DRIP XII), Berlin, September 9-13, 2007
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