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Fabrication and characterization of silicon inverse spiral and slanted pore structures

Hermatschweiler, M.; Staude, I.; Thiel, M.; Wegener, M.; Freymann, G.von



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230071202
HGF-Programm 43.04.02 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Frühjahrstagung DPG, Fachverband Quantenoptik und Photonik, Darmstadt, 10.-14.März 2008 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, B.43(2008) Q 16.8
Externe Relationen Abstract/Volltext
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