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Integrationstechniken für Sensor- und Aktormaterialien in Mikrosystemen

Grund, T.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2008
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230071432
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erscheinungsvermerk 18.FIF-Workshop für Mitglieder, Bruchsal, 6.-7.März 2008
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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