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Stöchiometrische Verbindungen im Si-C-N-System: Dünnschichtsynthese und oberflächenanalytische Charakterisierung

Bruns, M.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2008
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230071788
HGF-Programm 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing
Erscheinungsvermerk Vortr.: Technische Universität Kaiserslautern, 30.Mai 2008
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