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Stöchiometrische Verbindungen im Si-C-N-System: Dünnschichtsynthese und oberflächenanalytische Charakterisierung

Bruns, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230071788
HGF-Programm 43.03.06; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Technische Universität Kaiserslautern, 30.Mai 2008
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