| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230072217 |
| HGF-Programm | 43.98.20 (POF I, LK 01) TT-Projekte Programm NANOMIKRO |
| Erscheinungsvermerk | 2nd Integration and Commercialization of Micro and Nanosystems Internat.Conf.and Exhibition, Hongkong, China, June 3-5, 2008 |