Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2008 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230072217 |
HGF-Programm | 43.98.20 (POF I, LK 01) TT-Projekte Programm NANOMIKRO |
Erscheinungsvermerk | 2nd Integration and Commercialization of Micro and Nanosystems Internat.Conf.and Exhibition, Hongkong, China, June 3-5, 2008 |