Einfluss des CH₄-Anteils im Sputtergas auf die mechanischen Eigenschaften von V-C-Al-N-Schichten hergestellt durch Sputtern von einem segmentierten Target
Ziebert, C.
; Albers, U.; Ulrich, S.
; Albers, U.; Ulrich, S.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230072285 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erscheinungsvermerk | 1.Zwischenkolloquium des BMBF Projektes IMAUF 'Innovative Methoden zur Auslegung von Umformwerkzeugen im Fahrzeugbau', Düsseldorf, 16.Juli 2008 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |