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Molecular dynamics simulations of the sputtering of beta-SiC by Ar

Prskalo, A.P.; Kohler, C.; Schmauder, S.; Ziebert, C.; Ye, J.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230072653
HGF-Programm 43.03.06 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Materials Science and Engineering (MSE) : Congress and Exhibition on Advanced Materials and Processes, Nürnberg, September 1-4, 2008
Externe Relationen Abstract/Volltext
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