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Sputter deposition of single layer Si-C-N films: molecular dynamics simulation and experimental validation of structure-property-correlations

Ziebert, C.; Ye, J.; Ulrich, S.; Prskalo, A.; Kohler, C.; Schmauder, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230072654
HGF-Programm 43.03.06; LK 01
Erscheinungsvermerk 19th European Conf.on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides (DIAMOND 2008), Sitges, E, September 7-11, 2008
URLs Abstract (HTML)
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