Sputter deposition of single layer Si-C-N films: molecular dynamics simulation and experimental validation of structure-property-correlations
Ziebert, C.
; Ye, J.; Ulrich, S.; Prskalo, A.; Kohler, C.; Schmauder, S.
; Ye, J.; Ulrich, S.; Prskalo, A.; Kohler, C.; Schmauder, S.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230072654 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erscheinungsvermerk | 19th European Conf.on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides (DIAMOND 2008), Sitges, E, September 7-11, 2008 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |