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Influence of ion energy, ion flux, flux of film forming particles and surface temperature on the constitution of highly tetrahedral hydrogenated carbon thin films

Ulrich, S.; Stüber, M.; Ziebert, C. ORCID iD icon; Ye, J.; Sattel, S.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230072655
HGF-Programm 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing
Erscheinungsvermerk 19th European Conf.on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides (DIAMOND 2008), Sitges, E, September 7-11, 2008
Externe Relationen Abstract/Volltext
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