Influence of ion energy, ion flux, flux of film forming particles and surface temperature on the constitution of highly tetrahedral hydrogenated carbon thin films
Ulrich, S.; Stüber, M.; Ziebert, C.
; Ye, J.; Sattel, S.
; Ye, J.; Sattel, S.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230072655 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erscheinungsvermerk | 19th European Conf.on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides (DIAMOND 2008), Sitges, E, September 7-11, 2008 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |