Novel approach towards the deposition of hard diamond-like carbon coatings by advanced PVD techniques

Stüber, M.; Ulrich, S.; Ivanov, Y.; Zufraß, T.; Bewilogua, K.; Willich, P.; Scheibe, H. J.; Vetter, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230072691
HGF-Programm	43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing
Erscheinungsvermerk	11th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering (PSE 2008), Garmisch- Partenkirchen, September 15-19, 2008