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The FELIG project: implementing an automated production line for LIGA mass production

Hahn, L.; Saile, V.; Schwartz, G.; Schulz, J.; Baumbach, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230072907
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Erscheinungsvermerk MiNaT : Internat.Fachmesse und Kongress für Feinwerktechnik, Ultrapräzision, Micro- und Nano-Technologien, Stuttgart, 7.-9.Oktober 2008
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