The FELIG project: implementing an automated production line for LIGA mass production
Hahn, L.; Saile, V.; Schwartz, G.; Schulz, J.
; Baumbach, T.
; Baumbach, T.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Synchrotronstrahlung (ISS) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230072907 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Erscheinungsvermerk | MiNaT : Internat.Fachmesse und Kongress für Feinwerktechnik, Ultrapräzision, Micro- und Nano-Technologien, Stuttgart, 7.-9.Oktober 2008 |