Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2008 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230073038 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
Erscheinungsvermerk | Aspekte der Produktion mikrostrukturierter Bauteile : 19.FIF-Workshop, Karlsruhe, 23.-24.Oktober 2008 |