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Wafer level microdevice distribution for heterogeneous integration applications

Guerre, R.; Drechsler, U.; Jubin, D.; Grund, T.; Kohl, M.; Bhattacharyya, D.; Kirby, P.; Despont, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230073076
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Erscheinungsvermerk 34th Internat.Conf.on Micro and Nano Engineering, Athinai, GR, September 15-19, 2008 Book of Abstracts (3B-2)
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