Wafer level microdevice distribution for heterogeneous integration applications

Guerre, R.; Drechsler, U.; Jubin, D.; Grund, T.; Kohl, M.; Bhattacharyya, D.; Kirby, P.; Despont, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230073076
HGF-Programm	43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erscheinungsvermerk	34th Internat.Conf.on Micro and Nano Engineering, Athinai, GR, September 15-19, 2008 Book of Abstracts (3B-2)