Sputter deposition of nanocrystalline β-SiC films and molecular dynamics simulations of the sputter process
Ziebert, C.
; Ye, J.; Ulrich, S.; Prskalo, A.; Schmauder, S.
; Ye, J.; Ulrich, S.; Prskalo, A.; Schmauder, S.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230073131 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erscheinungsvermerk | 3rd Internat.Conf.on Surfaces, Coatings and Nanostructured Materials (NanoSmat2008), Barcelona, E, October 21-24, 2008 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |