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Sputter deposition of nanocrystalline β-SiC films and molecular dynamics simulations of the sputter process

Ziebert, C.; Ye, J.; Ulrich, S.; Prskalo, A.; Schmauder, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230073131
HGF-Programm 43.03.06; LK 01
Erscheinungsvermerk 3rd Internat.Conf.on Surfaces, Coatings and Nanostructured Materials (NanoSmat2008), Barcelona, E, October 21-24, 2008
URLs Abstract (HTML)
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