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Design of experiment (DOE) for optimizing a NiFe45/55 electroplating process

Wurz, M.; Dinulovic, D.; Chen, J.; Bade, K. ORCID iD icon; Saile, V.; Gatzen, H. H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230073175
HGF-Programm 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation
Erscheinungsvermerk 214th Electrochemical Society Meeting, Honolulu, Hawaii, October 12-17, 2008
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