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Analysis of stress and birefringence distribution in PMMA channel waveguides inscribed using DUV radiation

Golojuch, G.; Szczurowski, M.; Böhm, H.J.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Urbanczyk, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230074261
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Erscheinungsvermerk 16th Polish-Czech-Slovak Optical Conf.on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics, Polanica Zdroj, PL, September 8-12, 2008
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