Analysis of stress and birefringence distribution in PMMA channel waveguides inscribed using DUV radiation

Golojuch, G.; Szczurowski, M.; Böhm, H. J.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Urbanczyk, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230074261
HGF-Programm	43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erscheinungsvermerk	16th Polish-Czech-Slovak Optical Conf.on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics, Polanica Zdroj, PL, September 8-12, 2008