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Adaptive test cell for inline quality control of 3D-micro structures and hybrid MEMS (μPrüfzelle)

Köhler, B.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230074298
HGF-Programm 43.01.04 (POF I, LK 01) Systemintegration
Erscheinungsvermerk Forum 'Measuring MEMS' : Public Presentation of the Collaborative Projects mst/prüf ; PRODUCTRONICA, München, November 13-16, 2007
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