KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Adaptive test cell for inline quality control of 3D-micro structures and hybrid MEMS (μPrüfzelle)

Köhler, B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230074298
HGF-Programm 43.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Forum 'Measuring MEMS' : Public Presentation of the Collaborative Projects mst/prüf ; PRODUCTRONICA, München, November 13-16, 2007
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page