Adaptive test cell for inline quality control of 3D-micro structures and hybrid MEMS (μPrüfzelle)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230074298 |
| HGF-Programm | 43.01.04 (POF I, LK 01) Systemintegration |
| Erscheinungsvermerk | Forum 'Measuring MEMS' : Public Presentation of the Collaborative Projects mst/prüf ; PRODUCTRONICA, München, November 13-16, 2007 |