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Feature size reduction of silicon inverted direct laser written photonic crystal structures

Staude, I.; Hermatschweiler, M.; Freymann, G.von; Wegener, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230075102
HGF-Programm 43.04.02 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk Frühjahrstagung DPG, Fachverband Halbleiterphysik, Dresden, 22.-27.März 2009 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, B.44(2009) HL 43.9
Externe Relationen Abstract/Volltext
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