Feature size reduction of silicon inverted direct laser written photonic crystal structures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230075102 |
| HGF-Programm | 43.04.02 (POF II, LK 01) Metamaterialien u. Photonische Kristalle |
| Erscheinungsvermerk | Frühjahrstagung DPG, Fachverband Halbleiterphysik, Dresden, 22.-27.März 2009 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, B.44(2009) HL 43.9 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |