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Hydrogen-free hard amorphous carbon coatings: properties by cathodic vacuum arc evaporation and magnetron sputter deposition

Stüber, M.; Vetter, J.; Leiste, H.; Ulrich, S.; Ziebert, C.; Müller, J.; Erkens, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230075258
HGF-Programm 43.03.06 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk 36th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, Calif., April 27 - May 1, 2009
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