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Optimizing Ar⁺-ion etching for TEM cross-section sample preparation

Dieterle, L.; Butz, B.; Fuchs, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Festkörperphysik (IFP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230075286
HGF-Programm 52.01.01 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk Microscopy Conf.(MC 2009), Graz, A, August 30 - September 4, 2009
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