Steuerbare dielektrische Dickschichten für Hochfrequenz-Anwendungen

Binder, J. R.; Geßwein, H.; Zhou, X.; Paul, F.; Haußelt, J.; Giere, A.; Sazegar, M.; Zheng, Y.; Maune, H.; Jakoby, R.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2009
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230075526
HGF-Programm	43.03.04 (POF II, LK 01) Steuerbare Materialien
Erscheinungsvermerk	13.Sitzung des GMM-Fachausschusses 4.8 'Werkstoffe und Fertigungsverfahren', Karlsruhe, 13.Mai 2009