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Steuerbare dielektrische Dickschichten für Hochfrequenz-Anwendungen

Binder, J.R.; Geßwein, H.; Zhou, X.; Paul, F.; Haußelt, J.; Giere, A.; Sazegar, M.; Zheng, Y.; Maune, H.; Jakoby, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230075526
HGF-Programm 43.03.04 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk 13.Sitzung des GMM-Fachausschusses 4.8 'Werkstoffe und Fertigungsverfahren', Karlsruhe, 13.Mai 2009
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