Investigation of the dimensional accuracy of high aspect ratio microparts produces by MSG

Prokop, J.; Heneka, J.; Lorenz, J.; Moewald, K.; Piotter, V.; Ritzhaupt-Kleissl, H. J.; Vetter, K.; Hausselt, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2009
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230075601
HGF-Programm	43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation
Erscheinungsvermerk	8th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2009), Saskatoon, CDN, June 25-28, 2009