Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230076047 |
HGF-Programm | 43.04.03 (POF II, LK 01) Röntgenoptik |
Erscheinungsvermerk | 8th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2009), Saskatoon, CDN, June 25-28, 2009 Book of Abstracts |