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LIGA fabrication of gold amplitude and SU-8 phase gratings for hard X-ray Talbot interferometer

Reznikova, E.; Mohr, J.; Matthis, B.; Börner, M.; Nazmov, V.; Mathuni, J.; Hempel, E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230076048
HGF-Programm 43.04.03; LK 01
Erscheinungsvermerk 8th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2009), Saskatoon, CDN, June 25-28, 2009 Book of Abstracts
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