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INNOLIGA (Innovative Negative Resist Development for Industrial Applications of X-Ray LIGA) - Proceedings in the research funding project

Hahn, L.; Scheunemann, H.U.; Pasch, H.; Berger, M.; Quiram, S.; Nordt, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230076049
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Erscheinungsvermerk 8th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2009), Saskatoon, CDN, June 25-28, 2009 Book of Abstracts
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