KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Simulation tools for deep X-ray lithography: an overview

Meyer, P.; Hafizovic, S.; Hirai, Y.; Korvink, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230076052
HGF-Programm 43.01.06 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk 8th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2009), Saskatoon, CDN, June 25-28, 2009 Book of Abstracts
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page