Electrostatically actuated high aspect ratio test structures for mechanical property evaluation

Haluzan, D.; Klymyshyn, D.; Börner, M.; Achenbach, S.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2009
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230076053
HGF-Programm	43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation
Erscheinungsvermerk	8th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2009), Saskatoon, CDN, June 25-28, 2009 Book of Abstracts