KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Electrostatically actuated high aspect ratio test structures for mechanical property evaluation

Haluzan, D.; Klymyshyn, D.; Börner, M.; Achenbach, S.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230076053
HGF-Programm 43.01.03; LK 01
Erscheinungsvermerk 8th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2009), Saskatoon, CDN, June 25-28, 2009 Book of Abstracts
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page