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Launching into a golden age: mm parts made by the deep X-ray lithography

Meyer, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230076397
HGF-Programm 43.01.06 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk PCMI 2009 Spring Internat.Conf.and PCMI European Chapter Meeting, Frankfurt, June 8-10, 2009
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