Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230076402 |
HGF-Programm | 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
Erscheinungsvermerk | Commercialization of Micro and Nano Systems Conf. (COMS 2009), Copenhagen, DK, August 30 - September 4, 2009 |