Micro process technology: manufacturing of micro components
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230076423 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Seminar on Applied Particle Technology, Tomsk, Russia, September 4-5, 2009 |