| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230076499 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Erscheinungsvermerk | Commercialization of Micro and Nano Systems Conf. (COMS 2008), Puerto Vallarta, MEX, August 31 - September 4, 2008 |