| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Nano- und Mikrosysteme (NANOMIKRO) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230076995 |
| HGF-Programm | 43.01.04 (POF II, LK 01) Systemintegration |
| Erscheinungsvermerk | 4M/ICOMM 2009 : The Global Conf.on Micro Manufacture, Karlsruhe, September 23- 25, 2009 |