GlobeMST. Trends der Mikrosystemtechnik aus einer Metaanalyse

Bittner, K.; Dickerhof, M.; Gengenbach, U.; Parusel, A.; Anson, S.; Voges, U.; Kaufmann, U.; Kautt, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) Nano- und Mikrosysteme (NANOMIKRO)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2009
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230077103
HGF-Programm	43.01.04 (POF II, LK 01) Systemintegration
Erscheinungsvermerk	20.FIF-Workshop, Karlsruhe, 26.-27.März 2009